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主营产品或服务
: 主要产品: 1)光刻机系列 2)低温真空泵 3)高纯气体过滤器 4)表面应力测试系统 5)晶圆厚度测试系统 6)X光芯片检测系统 7)接触角测试系统 8)精密划片机